ページの本文へ

Hitachi

株式会社日立パワーデバイス

「MEMS」とは

「MEMS」とは
区分
定義
マイクロマシン 構成部品の寸法が数ミリメートル以下の機能要素および、それから構成される微小なシステム。
MEMS Micro-Electro-Mechanical-Systemの略でミクロな電機機械システムに関する技術の総称。
主として米国で使われ、一般にはシリコンプロセス技術を用いたミクロな構造体、センサおよびアクチュエータ。
MST Micro-System-Technologiesの略でマイクロシステムに関する技術の総称。
主として欧州で使われ、概ねMEMSと同義であるが、LIGAなどのプロセス技術も含める場合が多い。